Prof. Dr. rer. nat. Silvio Fuchs

Fakultät Ingenieurwissenschaften

Professur Digitale optische Technologien

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Projekte und Publikationen

NanoDigitaX - Bildgebungsanlage im extrem ultravioletten Spektralbereich für die digitale, hochauflösende Inspektion von Halbleiter-Nanostrukturen

  • Laufzeit: 15.10.2025 – 31.12.2027
  • Finanziert durch: Europäischer Fonds für Regionale Entwicklung (EFRE)
  • Förderkennzeichen: 100757896
  • Projektleiter: Silvio Fuchs
2933 Silvio Fuchs
J. Reinhard, F. Wiesner, M. Hennecke, T. Sidiropoulos, S. Kaleta, J. Späthe, J. Abel, M. Wünsche, G. Schmidl, J. Plentz, U. Hübner, K. Freiberg, J. Apell, S. Lippmann, M. Schnürer, S. Eisebitt, G. Paulus, S. Fuchs

Soft X-ray imaging with coherence tomography in the water window spectral range using high-harmonic generation

Erschienen in: Light: Science & Applications 15 (2026), S. 79
21892 journalartikel
W. Eschen, R. Klas, D. Penagos Molina, S. Fuchs, G. Paulus, J. Limpert, J. Rothhardt

Coherent nanoscale imaging and chemical mapping with compact extreme ultraviolet and soft x-ray sources: Review and perspective

Erschienen in: APL Photonics 10 (2025), Nr. 5
21401 journalartikel
J. Abel, J. Apell, F. Wiesner, J. Reinhard, M. Wünsche, N. Felde, G. Schmidl, J. Plentz, G. Paulus, S. Lippmann, S. Fuchs

Non-destructive depth reconstruction of Al-Al2Cu layer structure with nanometer resolution using extreme ultraviolet coherence tomography

Erschienen in: Materials Characterization 211 (2024), S. 113894
21198 journalartikel
F. Wiesner, J. Abel, M. Hussain, V. Krishna, A. Cadore, J. Felipe, A. Valencia, M. Wünsche, J. Reinhard, M. Gruenewald, C. Cocchi, G. Paulus, G. Soavi, S. Fuchs

Optical Coherence Tomography of Van Der Waals Heterostructures Using Extreme Ultraviolet Light

Erschienen in: Advanced Materials Interfaces, 2024
21199 journalartikel
J. Reinhard, S. Kaleta, J. Abel, F. Wiesner, M. Wünsche, E. Seemann, M. Westermann, T. Weber, J. Nathanael, A. Iliou, H. Fiedorowicz, F. Hillmann, C. Eggeling, G. Paulus, S. Fuchs

Laboratory-Based Correlative Soft X-ray and Fluorescence Microscopy in an Integrated Setup

Erschienen in: Microscopy and Microanalysis, 2023
20817 journalartikel
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Die Hochschule Mittweida ist ein grenzenloses Experimentierfeld mit dem Ziel, Wirtschaft und Gesellschaft voranzubringen. Wie? Durch akademisch ausgebildete Fachkräfte und unkomplizierte Zusammenarbeit, die es regionalen Unternehmen ermöglicht, von unseren Ergebnissen unmittelbar zu profitieren – oder mit gemeinsamen Forschungsprojekten neue Erkenntnisse zu sammeln, die direkt überführt werden können. Studierenden ermöglichen wir, sich auszuprobieren, indem sie ihre eigenen Fähigkeiten erweitern und Neues erschließen.

6.350
Studierende
590
engagierte Mitarbeitende
100
Partnerhochschulen weltweit
161
Jahre HSMW
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