Prof. Dr. rer. nat. Silvio Fuchs

Fakultät Ingenieurwissenschaften

Professur Digitale optische Technologien

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Forschung

Mittweida bietet eine zukunftsorientierte, weltoffene Hochschule für Angewandte Wissenschaften. Lehr- und Forschungsangebote finden in regionalen und überregionalen Kooperationen sowie mit klein- und mittelständischen Unternehmen in Sachsen statt.

Countdown zum adh-Hochschullauf: Noch 15 Tage

Am Sonntag, dem 20. September findet im Rahmen des Internationalen Tag des Hochschulsports der adh-Hochschullauf statt.

Mitarbeiter/in im Bereich Eventmaterial (m/w/d)

Beim Studierendenrat der Hochschule Mittweida ist zum 01.10.2026 eine Stelle im Bereich Eventmaterial zu besetzen.

Lebenslagen im Wandel

Zusammenarbeit von Hochschule und Landkreisverwaltung: Kontinuierliche Sozialbericht-erstattung zeigt Entwicklungen und unterstützt die Zukunftsgestaltung des Sozialen.

Institute

Die Forschungseinrichtungen und Institute an der Hochschule Mittweida ermöglichen Wissens- und Praxistransfer.

Wissenschaftspreis 2026 - jetzt bewerben!

Bewerbungsunterlagen bitte bis zum 12.10.2026 einreichen.

Newsroom

Projekte und Publikationen

NanoDigitaX - Bildgebungsanlage im extrem ultravioletten Spektralbereich für die digitale, hochauflösende Inspektion von Halbleiter-Nanostrukturen

Laufzeit: 15.10.2025 – 31.12.2027
Finanziert durch: Europäischer Fonds für Regionale Entwicklung (EFRE)
Förderkennzeichen: 100757896
Projektleiter: Silvio Fuchs

J. Reinhard, F. Wiesner, M. Hennecke, T. Sidiropoulos, S. Kaleta, J. Späthe, J. Abel, M. Wünsche, G. Schmidl, J. Plentz, U. Hübner, K. Freiberg, J. Apell, S. Lippmann, M. Schnürer, S. Eisebitt, G. Paulus, S. Fuchs

Soft X-ray imaging with coherence tomography in the water window spectral range using high-harmonic generation

Erschienen in: Light: Science & Applications 15 (2026), S. 79

DOI: 10.1038/s41377-025-02057-9

W. Eschen, R. Klas, D. Penagos Molina, S. Fuchs, G. Paulus, J. Limpert, J. Rothhardt

Coherent nanoscale imaging and chemical mapping with compact extreme ultraviolet and soft x-ray sources: Review and perspective

Erschienen in: APL Photonics 10 (2025), Nr. 5

DOI: 10.1063/5.0254017

J. Abel, J. Apell, F. Wiesner, J. Reinhard, M. Wünsche, N. Felde, G. Schmidl, J. Plentz, G. Paulus, S. Lippmann, S. Fuchs

Non-destructive depth reconstruction of Al-Al2Cu layer structure with nanometer resolution using extreme ultraviolet coherence tomography

Erschienen in: Materials Characterization 211 (2024), S. 113894

DOI: 10.1016/j.matchar.2024.113894

F. Wiesner, J. Abel, M. Hussain, V. Krishna, A. Cadore, J. Felipe, A. Valencia, M. Wünsche, J. Reinhard, M. Gruenewald, C. Cocchi, G. Paulus, G. Soavi, S. Fuchs

Optical Coherence Tomography of Van Der Waals Heterostructures Using Extreme Ultraviolet Light

Erschienen in: Advanced Materials Interfaces, 2024

DOI: 10.1002/admi.202400534

J. Reinhard, S. Kaleta, J. Abel, F. Wiesner, M. Wünsche, E. Seemann, M. Westermann, T. Weber, J. Nathanael, A. Iliou, H. Fiedorowicz, F. Hillmann, C. Eggeling, G. Paulus, S. Fuchs

Laboratory-Based Correlative Soft X-ray and Fluorescence Microscopy in an Integrated Setup

Erschienen in: Microscopy and Microanalysis, 2023

DOI: 10.1093/micmic/ozad123

Was ist die HSMW?

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Die Hochschule Mittweida ist ein grenzenloses Experimentierfeld mit dem Ziel, Wirtschaft und Gesellschaft voranzubringen. Wie? Durch akademisch ausgebildete Fachkräfte und unkomplizierte Zusammenarbeit, die es regionalen Unternehmen ermöglicht, von unseren Ergebnissen unmittelbar zu profitieren – oder mit gemeinsamen Forschungsprojekten neue Erkenntnisse zu sammeln, die direkt überführt werden können. Studierenden ermöglichen wir, sich auszuprobieren, indem sie ihre eigenen Fähigkeiten erweitern und Neues erschließen.

6.350

Studierende

590

engagierte Mitarbeitende

100

Partnerhochschulen weltweit

161

Jahre HSMW

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